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热场发射扫描电子显微镜Quattro C

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热场发射扫描电子显微镜Quattro C 核心参数
电子枪: 场发射 加速电压: 加速电压:200V – 30kV
放大倍数: 放大倍数:6× - 2,500,000× 分辨率: 高真空分辨率30 kV下1.0 nm (二次电子)
抽真空时间: 高真空模式下的换样时间:≤3.5min 真空度: <6×10-4 Pa
详细介绍

工作环境:

1电压:100-240V-6%+10%

2工作温度:20±3

3 相对湿度:< 80%

4 震动和磁场需由厂家装机前测试并给出报告

 

主要技术性能指标:

1、电子光学

1.1   发射源:高分辨肖特基场发射电子枪。

1.2   加速电压:200V – 30kV

1.3 放大倍数:6× - 2,500,000×

1.4 电镜内设计有压差真空系统,保护低真空/环境真空下电子枪,延长寿命。

1.5 大的电子束束流:1pA -200nA 连续可调,保证能谱高效工作

 

2、真空系统

2.1   1250 l/s分子涡轮泵+1个机械泵+2个离子泵

2.2 集成的离子泵备用电池(用于意外断电保护)

2.2   高真空模式:<6×10-4 Pa (测试导电样品或喷金处理样品)

2.3 低真空模式:10 – 200 Pa (直接测试不导电样品)

2.4 环境真空模式:10 – 4000 Pa (测试含水分样品)

2.5 高真空模式下的换样时间:≤3.5min

2.6 环境真空模式下的换样时间:≤4.5min

 

3、分辨率

独立的高真空专用探测器,分辨率指标

3.1   高真空分辨率30 kV1.0 nm (二次电子)

3.2 高真空分辨率30 kV2.5 nm (背散射电子)

3.3 高真空分辨率1 kV3.0 nm (二次电子)

独立的低真空专用探测器

3.4 低真空分辨率30 kV1.3 nm (二次电子)

3.5 低真空分辨率30 kV2.5 nm (背散射电子)

3.6 低真空分辨率3 kV3.0 nm (背散射电子)

独立环境真空专用探测器

3.7环境真空分辨率30 kV1.3 nm (二次电子)

 

4、样品室

4.1 样品室内宽:340mm

4.2 分析工作距离:10 mm

4.3 样品室红外CCD相机:1

4.4 最多可升级12个探测器或附件接口      

 

5、样品台

5.1 样品台类型:五轴全自动U中心对中样品台,同时保留五轴手动功能

5.2 行程:X110 mmY110 mm Z65 mm

5.4 旋转R=n×360o,倾斜T=-15o/+90o

5.3 多功能样品台,存放标准样品台 (Ø12 mm)平面18个,斜面3个,同时提供2个断面夹具

5.4 样品最大安全高度≥85mm

 

6、图像处理及系统控制

6.1最大6144×4096像素,可保存TIFF/BMP/JPEG格式

6.2操作界面既可单窗口又可四窗口图像显示,驻留时间25ns-25ms/pixel

6.3实时或静态信号按彩色或按灰度等级混合, 256 帧平均或积分, 数字动画记录,直方图及图像测量软件

6.4SmartSCAN™ 智能扫描技术和图像导航,

 

产品优势
用途:场发射环境扫描电镜,配备能谱仪和冷台。扫描电镜和能谱仪,可用于测试各种材料,如金属材料、高分子材料、无机材料(矿物、岩土、甚至含水分材料)等的样品表面二次电子形貌信息,背散射电子组分区分,能谱元素成分分析。结合冷台,可通过控制样品室内温度和湿度,模拟环境测试样品在动态环境中的形貌和组分变化,并记录这些变化的过程。
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