仪器网

欢迎您: 免费注册 仪器双拼网址:www.yiqi.com
首页-资讯-资料-产品-求购-招标-品牌-展会-行业应用-社区-供应商手机版
官方微信
仪器网-专业分析仪器,检测仪器平台,实验室仪器设备交易网 产品导购
VIP企业会员服务升级
仪器/ 产品中心/ 实验室常用设备/ 制样/消解设备/ 离子溅射仪/ Q150T ES PLUS 高真空离子溅射/热蒸发一体化镀膜仪
收藏  

Q150T ES PLUS 高真空离子溅射/热蒸发一体化镀膜仪

联系方式:日立科学仪器400-855-8699转8089

联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!

为您推荐
详细介绍

产品简介

Q150T ES PLUS 高真空离子溅射/热蒸发一体化镀膜仪

Q150T ES PLUS 高真空离子溅射/热蒸发一体化镀膜仪.png

Q150T PLUS系列镀膜仪是一款专为SEM、TEM及薄膜应用设计的高真空镀膜仪,对于扫描电镜尤其是高分辨场发射扫描电镜(SEM)样品制备、透射电镜(TEM)及其它非电镜(如材料领域)镀膜应用非常理想。Q150T PLUS装在一个坚固的特制整体成型机箱中,包括空气冷却的70L/s涡轮分子泵。自动进气控制保证了镀膜期间**的真空条件。真空腔室直径为165mm (6.5英寸)并带有防爆罩。Q150T含有的“真空闭锁”功能允许在不用设备时维持腔室真空,从而改善后续真空性能。Q150T PLUS系列有三种型号:Q150T S PLUS、Q150T E PLUS和Q150T ES PLUS,其中Q150T ES PLUS为一款集成了离子溅射和热蒸镀两种真空镀膜方式的系统,镀膜头可在数秒内快速更换,智能逻辑系统自动识别出所装的镀膜头类型,并自动显示相应的操作设置。它既可溅射易氧化及不氧化金属(贵金属),标配一块铬靶,可选金、银、铂、钯、金/钯合金、铂/钯合金、铱、铝、钽、ITO氧化铟锡、铁、钨、钛等多种金属靶;也可作为高真空镀碳仪(标配为3.05mm碳棒),用来制作高稳定性的碳膜和表面覆形膜,对透射电镜(TEM)的应用非常理想。

仪器特点:
1.金属溅射和碳蒸发两者兼备,一体化设计,结构紧凑,节约空间。
2.精细颗粒溅射——适合先进的高分辨率场发射扫描电镜(FE-SEM)制样的应用。
3.涡轮分子泵高真空系统——允许溅射宽范围的易氧化和不氧化金属,适合普通SEM、高分辨率FESEM和薄膜材料研究等多种应用。
4.全自动触摸屏控制——快速数据输入,操作简单。采用触摸屏作为简单的操作核心,即使不熟练的或偶而使用的操作者,仪器也5.能使其快速键入和贮存自己的处理数据。程序中已贮存各种典型的镀膜参数资料供用户直接调用,以便为新手提供进一步的易操作帮助。
6.可储存多个客户自定义镀膜方案——对多用户实验室十分理想。
7.与镀膜过程和镀膜材料相匹配的自动进气控制真空——无需针阀调节。
8.精细的厚度控制——使用膜厚监控选项。
9.“智能”式系统识别——自动感知用户所装的插入式镀膜头的类型。
10.高真空蒸镀碳——理想的SEM和TEM镀碳膜应用。
11.先进的碳棒蒸发枪设计——简单操作,重复性好。
12.蒸发电流波形控制——确保获得稳定的可复制碳膜。
13.Drop-in落入式快换样品台(标配旋转台)。
14.真空闭锁功能:可让工作腔室处于真空状态,改善后续真空效果,或在真空下保存样品。
15.镀制厚膜能力——一次真空条件下的溅射时间可长达60分钟(材料科研领域的应用)
16.人体工程学设计的整体成型机箱——易维护和易拆装。

Q150T ES PLUS集成了离子溅射和热蒸镀两种真空镀膜方式。溅射插入头装有磁控系统,可使溅射处理期间产生的高能电子偏转,从而远离样品,这有助于创建必要的冷溅射环境以消除热影响,且确保溅射成膜中的精细颗粒结构;碳棒蒸发插入头采用稳定的无纹波直流电源控制的脉冲蒸发方式,确保源自碳棒或碳丝的可重复蒸碳。

部分可选项:
-可预设倾斜角的旋转台
-可变角度旋转行星台
-可用于4”晶圆的平面旋转台
-显微镜载玻片样品台
-用于高样品的加高腔室
-膜厚监测附件(FTM),用于可重复膜厚控制:到达所设定膜厚,溅射镀膜即停。到达所设定膜厚,溅射镀膜即停;或到达所设定碳膜厚度,碳棒/碳丝热蒸发即停。
-快速、易更换的辉光放电插入头可用于样品表面改性(如疏水改变为亲水)
-适用于6.15mm碳棒蒸发头。但推荐使用更易控制及更经济的3.05mm直径标配碳棒头。 
-碳丝蒸发头
-金属蒸发和光阑清洁头:用于源自钨丝篮或舟的金属热蒸发。可配备一个标准钼舟用于清洁SEM或TEM光阑。金属蒸发头被安装用于向下蒸发,但向上蒸发也能通过配装两个延长电而获得。

产品优势
Q150T ES PLUS集成了离子溅射和热蒸镀两种真空镀膜方式。溅射插入头装有磁控系统,可使溅射处理期间产生的高能电子偏转,从而远离样品,这有助于创建必要的冷溅射环境以消除热影响,且确保溅射成膜中的精细颗粒结构;碳棒蒸发插入头采用稳定的无纹波直流电源控制的脉冲蒸发方式,确保源自碳棒或碳丝的可重复蒸碳。
厂商相关其他产品
X您尚未登录
账号登录
X您尚未登录
手机动态密码登录
X您尚未登录
扫码登录
在线留言
官方微信

仪器网微信服务号

扫码获取最新信息


仪器网官方订阅号

扫码获取最新信息

在线客服

咨询客服

在线客服
工作日:  9:00-18:00
联系客服 企业专属客服
电话客服:  400-822-6768
工作日:  9:00-18:00
订阅商机

仪采招微信公众号

采购信息一键获取海量商机轻松掌控