Enerqetiq EQ-99X 激光驱动白光光源

Enerqetiq EQ-99X 激光驱动白光光源

Enerqetiq EQ-99X 激光驱动白光光源是一款高亮度，高稳定、长寿命宽谱光源，采用革命性的光源技术LDLS&;激光驱动光源技术，使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度，以产生高效的宽频谱光。具有高可靠性，高性能，高亮度，长寿命等特点。其产品具有很宽的光谱范围，谱线包括软X 射线（SXR），远紫外线（EUV）, 深紫外线（DUV）, 并覆盖从可见光到红外光区（IR），波长范围从 170nm到2100nm 以上。无电极的 LDLS 技术可以产生少量，高亮度的等离子体，以获取高效的光源，并且延长了灯的使用寿命。

EQ-99X LDLS白光光源 EQ-99XFC LDLS白光光源

光纤耦合准直方案 高功率聚焦耦合方案

Enerqetiq EQ-99X 激光驱动白光光源产品参数：

Energetiq 自主研发的激光驱动光源（LDLS）技术使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度，以产生高效的宽频谱光。使用传统的方法，如弧光灯，氘灯，当使用电极连接电源和等离子体时，灯的亮度，紫外能量，使用寿命非常有限。无电极的LDLS 技术可以产生少量，高亮度的等离子体，以获取高效的光源，光谱范围包括从深紫外到包括可见光及以上的谱线，并且延长了灯的使用寿命。电极激光驱动光源技术

?革命性的新技术---连续激光等离子放电

?宽谱线，高亮度,从 170nm 到包括可见光区至2000nm 以上。

EQ-99X LDLS白光光源工作原理

性能和特点优势

l -连续激光等离子体放电

l -极高亮度，波长完全覆盖从170nm 到所有可见光及以上的波长

l -解决了对灯需求的多样性（可代替氘灯，钨灯，氙弧光灯），简化光学系统

l -极好的空间稳定性，可重复测量

l -可在极短时间，或很长时间内有稳定的能量输出，可重复测量

l -长寿命，无电极工作，降低消耗成本，减少光路校准量

EQ-99X LDLS白光光源 亮度曲线

EQ-99X LDLS白光光源 工作寿命