Horiba X-Max 硅漂移探测器

X-MaxN 的晶体尺寸从适合于微米分析的20 mm²到纳米材料分析专用150 mm²的共四种可选。尤其是150 mm2为当今晶体面积最大的探测器，分析速度至少是普通探测器的两倍。

总览

• 探测器晶体尺寸可选，分别为150 mm²，80 mm²，50 mm²，20 mm²

• 无论晶体面积或大或小，X-MaxN 的分辨率始终如一的好并符合标准ISO15632:2012

• 无论晶体尺寸如何，能谱仪外管尺寸及在电镜中的位置完全一致，确保相同条件下，计数率的增加只源于晶体尺寸的增加

• 强大的低能端分析，所有晶体面积的能谱仪均保证由Be开始

• 与上一代X-Max同，无论SEM或FIB均使用同一界面

无论晶体面积如何，优异的性能始终如一

• 因其独特地外置型FET场效应管设计，X-MaxN 的分辨率完全不受晶体面积变化的影响始终如一，且保证全部具有优异的低能端检测性能

• 探测器外管尺寸相同，意味着相同条件下，计数率仅与晶体面积有关

• 保证所有晶体面积的能谱仪均具有优异的能量分辨率

• 出众的低能端分析性能，保证所有尺寸的能谱仪皆可探测到Be元素

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使用大面积能谱仪意味着：

• 低束流下有足够的计数率

• 尽可能高的实现图像的可视性及准确性

• 无需为能谱分析改变SEM的条件

• 在相同束流下，极大地提高计数率

• 缩短采集时间

• 统计性更高

• 实现小束斑下的能谱分析

• 提高能谱检测的空间分辨率

• 尽可能体现高分辨电镜的优势

晶体面积越大，X-射线计数效率越高
相同条件下，晶体面积越大：

• 以前需要几分钟完成的工作，现在仅需要几秒钟面/线分布更易获得

• 采集时间相同，可极大地提高分析精度及统计性

大面积能谱仪快速获得所有显微分析结果

优异的低能端分析性能
X-MaxN 为低能端元素的分析做了巨大的优化无论何种尺寸，均前所未有的表现出优异的低能端分析性能

所有尺寸的能谱仪均可保证检测到Be，可获得SiLI峰的面分布

超大面积的能谱仪均具有优异的低能端分析性能

优异的空间分辨率
高空间分辨率，X射线扩展区域更小

大面积能谱仪可以在低加速电压及低束流下采集X-射线

纳米尺度的特征可以更好的被检测到

超大面积的能谱仪使高级的纳米分析成为可能