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全自动原子层沉积系统(ALD)

  • 品牌:维易科
  • 型号: Firebird
  • 产地:美国
  • 供应商报价: 面议
  • 香港电子器材有限公司 更新时间:2024-03-27 09:36:12

    企业性质授权代理商

    入驻年限第7年

    营业执照已审核

    同类产品镀膜设备(4件)
  • 标签: Cambridge Nanotech Thermal ALD

联系方式:刘小姐021-63813293

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详细介绍

Veeco(之前称之为Cambridge Nanotech)已经有15年以上的ALD研发生产经验。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大学,05年搬到Boston并生产出Thermal ALD - Savannah, 之后生产出Plasam ALD - Fuji、批量生产ALD-Phoenix。2017年被Veeco收购,并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今为止,Veeco在ALD设备已有15年多的经验,全球已安装五百多台ALD设备。


Firebird Batch Thermal ALD System

​方式: Thermal batch ALD

优势:完全自动化的批量生产系统,**生产能力(每月最多40000片),zuidi的成本,最高的产量,极优的一致性针对脆弱/温度敏感的衬底解决方案,包括LNO/LTO/玻璃模块化热管理,以实现**工艺灵活性和产量

薄膜: 氧化物薄膜,包含封装层、光学涂层氧化物薄膜,包含封装层、光学涂层

反应腔体大小:  无缝晶片尺寸转换能力高达300mm


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