仪器网

欢迎您: 免费注册 仪器双拼网址:www.yiqi.com
首页-资讯-资料-产品-求购-招标-品牌-展会-行业应用-社区-供应商手机版
官方微信
仪器网-专业分析仪器,检测仪器平台,实验室仪器设备交易网 产品导购
VIP企业会员服务升级
仪器/ 产品中心/ 实验室常用设备/ 制样/消解设备/ 气相沉积系统/ 微波等离子化学气相沉积系统
收藏  

微波等离子化学气相沉积系统

联系方式:销售部010-85120280

联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!

为您推荐
详细介绍

微波等离子化学气相沉积系统-MPCVD

宝石级大尺寸单晶金刚石制备系统



微波等离子化学气相沉积技术(MPCVD), 通过等离子增加前驱体的反应速率,降低反应温度。适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量硬质薄膜和晶体。

MPCVD是制备大尺寸单晶金刚石有效手段之一。德国iplas公司ZL的 CYRANNUS 等离子技术解决了传统等离子技术的局限,可以在10mbar到室压范围内激发高稳定度的等离子团,大限度的减少了因气流、气压、气体成分、电压等因素波动引起的等离子体状态的变化,从而确保单晶生长的持续性,为合成大尺寸单晶金刚石提供有力保证。



iplas CYRANNUS系列产品特点:


1. CYRANNUS技术无需在样品腔内安装内部电极,在沉积腔内,没有工作气体以外的任何物质,洁净,无污染源。等离子发生器可以保持长寿命,并可以确保腔内的等离子体的均匀分布,进一步生成晶体的纯净度和生长周期。


2. CYRANNUS技术的腔外多电极设置,确保等离子团稳定生成于腔内中心位置,对腔壁、窗口等无侵蚀作用,减少杂质来源,提高晶体纯度。由CYRANNUS系统合成的金刚石,纯度均在VVS级别以上。


3. 电子温度和离子温度对中性气体温度之比非常高,运载气体保持合适的温度,因此可使基底的温度不会过高。


4. 微波发生器稳定易控,能在从10mbar到室压的高压强环境下维持等离子体,在气流、气压、气体成分、电压出现波动时,确保等离子体状态的稳定,保证单晶生长的过程不被上述干扰而中断,有利于获得大尺寸单晶金刚石。


5. 可以采用磁约束的方法,约束在等离子团在约定的空间内,微波结和磁路可以兼容。


6. 安全因素高。高压源和等离子体发生器互相隔离,微波泄漏小,容易达到辐射安全标准。


7. 可搭配多种功率微波源和不同尺寸腔体,满足从实验室小型设备到工业大型装置的不同需要。大可以对300mm直径的衬底沉积金刚石薄膜。






化学机理概要:
碳氢化合物:提供沉积材料
氢气:生成sp3
氧:对石墨相/sp2键侵蚀
惰性气体:缓冲气体,或生成纳米晶体。
适用合成材料:
大尺寸宝石级单晶钻石
高取向度金刚石晶体
纳米结晶金刚石
碳纳米管/类金刚石碳(DLC)


金刚石薄膜

宝石级钻石

vvs1,~1 carrat, E grade



多种等离子发生器选择:


频率:2.45GHz, 915MHz:


功率:1-2kW, 1-3kW, 3-6kW,1-6kW,5-30kW


等离子团直径:70mm, 145mm, 250mm, 400mm


工作其他范围:0-1000mBar


其他应用:



MPCVD同样适用于平面基体,或曲面颗粒的其它硬质材料如Al2O3,c-BN的薄膜沉积和晶体合成。德国iplas公司凭借几十年在等离子技术领域的积累,可以为用户提供高度定制的设备,满足用户不同的应用需要。



厂商相关其他产品
X您尚未登录
账号登录
X您尚未登录
手机动态密码登录
X您尚未登录
扫码登录
在线留言
官方微信

仪器网微信服务号

扫码获取最新信息


仪器网官方订阅号

扫码获取最新信息

在线客服

咨询客服

在线客服
工作日:  9:00-18:00
联系客服 企业专属客服
电话客服:  400-822-6768
工作日:  9:00-18:00
订阅商机

仪采招微信公众号

采购信息一键获取海量商机轻松掌控