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微波等离子化学气相沉积系统
- 品牌:iplas
- 型号: CYRANNUS
- 产地:德国
- 供应商报价: € 65000
- QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司 更新时间:2024-03-26 19:43:29
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- 详细介绍
微波等离子化学气相沉积系统-MPCVD
宝石级大尺寸单晶金刚石制备系统
微波等离子化学气相沉积技术(MPCVD), 通过等离子增加前驱体的反应速率,降低反应温度。适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量硬质薄膜和晶体。
MPCVD是制备大尺寸单晶金刚石有效手段之一。德国iplas公司ZL的 CYRANNUS 等离子技术解决了传统等离子技术的局限,可以在10mbar到室压范围内激发高稳定度的等离子团,大限度的减少了因气流、气压、气体成分、电压等因素波动引起的等离子体状态的变化,从而确保单晶生长的持续性,为合成大尺寸单晶金刚石提供有力保证。
iplas CYRANNUS系列产品特点:
1. CYRANNUS技术无需在样品腔内安装内部电极,在沉积腔内,没有工作气体以外的任何物质,洁净,无污染源。等离子发生器可以保持长寿命,并可以确保腔内的等离子体的均匀分布,进一步生成晶体的纯净度和生长周期。
2. CYRANNUS技术的腔外多电极设置,确保等离子团稳定生成于腔内中心位置,对腔壁、窗口等无侵蚀作用,减少杂质来源,提高晶体纯度。由CYRANNUS系统合成的金刚石,纯度均在VVS级别以上。
3. 电子温度和离子温度对中性气体温度之比非常高,运载气体保持合适的温度,因此可使基底的温度不会过高。
4. 微波发生器稳定易控,能在从10mbar到室压的高压强环境下维持等离子体,在气流、气压、气体成分、电压出现波动时,确保等离子体状态的稳定,保证单晶生长的过程不被上述干扰而中断,有利于获得大尺寸单晶金刚石。
5. 可以采用磁约束的方法,约束在等离子团在约定的空间内,微波结和磁路可以兼容。
6. 安全因素高。高压源和等离子体发生器互相隔离,微波泄漏小,容易达到辐射安全标准。
7. 可搭配多种功率微波源和不同尺寸腔体,满足从实验室小型设备到工业大型装置的不同需要。大可以对300mm直径的衬底沉积金刚石薄膜。
化学机理概要:
碳氢化合物:提供沉积材料
氢气:生成sp3键
氧:对石墨相/sp2键侵蚀
惰性气体:缓冲气体,或生成纳米晶体。
适用合成材料:
大尺寸宝石级单晶钻石
高取向度金刚石晶体
纳米结晶金刚石
碳纳米管/类金刚石碳(DLC)
金刚石薄膜宝石级钻石
vvs1,~1 carrat, E grade
多种等离子发生器选择:
频率:2.45GHz, 915MHz:
功率:1-2kW, 1-3kW, 3-6kW,1-6kW,5-30kW
等离子团直径:70mm, 145mm, 250mm, 400mm
工作其他范围:0-1000mBar
其他应用:
MPCVD同样适用于平面基体,或曲面颗粒的其它硬质材料如Al2O3,c-BN的薄膜沉积和晶体合成。德国iplas公司凭借几十年在等离子技术领域的积累,可以为用户提供高度定制的设备,满足用户不同的应用需要。
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