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一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE

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详细介绍


新型的全自动薄膜测量分析工具,工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。


产品特点:
完全自动化设计,一键式操作,直接报告输出
液晶调制技术,测量光路中无运动部件
CCD探测系统,快速全谱输出
多个微光斑尺寸选择,ZL可视技术
封闭式样品仓


技术参数:
光谱范围:450-1000 nm
多种微光斑自动选择
ZL光斑可视技术,可观测任何样品表面
CCD探测器
自动样品台尺寸:200mmX200mm
XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm
70度角入射


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