-
-
-
上海伯东 KRI 考夫曼离子源 KDC 40
- 品牌：美国KRI
- 型号： KDC 40
- 产地：美国
- 供应商报价： 面议
-
伯东企业（上海）有限公司
更新时间：2024-03-27 15:06:09 -
企业性质授权代理商
入驻年限第10年
营业执照已审核
- 同类产品KRI 考夫曼离子源(49件)
-
为您推荐
- 详细介绍
因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准
KRI 考夫曼离子源 KDC 40
上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 40: 小型低成本直流栅极离子源. KDC 40 是 3cm 考夫曼型离子源升级款. 具有更大的栅极, 更坚固, 可以配置自对准第三层栅极. 离子源 KDC 40 适用于所有的离子工艺, 例如预清洗, 表面改性, 辅助镀膜, 溅射镀膜, 离子蚀刻和沉积. 离子源 KDC 40 兼容惰性或活性气体, 例如氧气和氮气. 标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 120 mA.
KRI 考夫曼离子源 KDC 40 技术参数型号
KDC 40
供电
DC magnetic confinement
- 阴极灯丝
1
- 阳极电压
0-100V DC
电子束
OptiBeam™
- 栅极
专用, 自对准
-栅极直径
4 cm
中和器
灯丝
电源控制
KSC 1202
配置
-
- 阴极中和器
Filament, Sidewinder Filament 或LFN 1000
- 架构
移动或快速法兰
- 高度
6.75'
- 直径
3.5'
- 离子束
集中
平行
散设-加工材料
金属
电介质
半导体-工艺气体
惰性
活性
混合-安装距离
6-18”
- 自动控制
控制4种气体
* 可选: 可调角度的支架
KRI 考夫曼离子源 KDC 40 应用领域
溅镀和蒸发镀膜 PC
辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
离子溅射沉积和多层结构 IBSD
离子蚀刻 IBE若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗先生 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw伯东版权所有, 翻拷必究!
- 产品优势
- 上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 40: 小型低成本直流栅极离子源. KDC 40 是 3cm 考夫曼型离子源升级款. 具有更大的栅极, 更坚固, 可以配置自对准第三层栅极. 离子源 KDC 40 适用于所有的离子工艺, 例如预清洗, 表面改性, 辅助镀膜, 溅射镀膜, 离子蚀刻和沉积. 离子源 KDC 40 兼容惰性或活性气体, 例如氧气和氮气. 标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 120 mA.
