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桌面型紫外曝光机UV-KUB 2

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详细介绍

UV-KUB 2是一款基于UV-LED技术的小型多功能曝光光刻设备,广泛地应用于高校、研究所以及企业研发机构的MEMS实验室、微流控实验室、光电实验室以及生物技术实验室等。

微信截图_20190726120755.png

主要优势

  • 低成本,结构紧凑,占地面积小;

  • LED单色光全幅面曝光,均匀性好,效率高;

  • 使用UV-LED 冷光源,实时对温度控制减小温差对材料的影响;

  • 光源寿命超过10000小时;

  • 开机后无需预热;

  • 可实现垂直沟槽的制作,发散角< 2°;

  • 触摸屏操作,简单易行。

规格参数
曝光面积4英寸
分辨率2um
曝光波长365 nm / 385 nm / 405nm
全幅面照明能量密度25 mW / cm² ± 10 % 
曝光温度变化小于1度
曝光时间(连续或非连续)1秒至18小时定时
外形尺寸260 x 260 x 260 mm³ 
触摸屏尺寸5.7英寸
整机能耗180W


产品优势
UV-KUB 2是一款基于UV-LED技术的小型多功能曝光光刻设备,广泛地应用于高校、研究所以及企业研发机构的MEMS实验室、微流控实验室、光电实验室以及生物技术实验室等,其具有下列特点:
-低成本,结构紧凑,占地面积小;
-LED单色光全幅面曝光,均匀性好,效率高;
-使用UV-LED 冷光源,实时对温度控制减小温差对材料的影响;
-光源寿命超过10000小时;
-开机后无需预热;
-可实现垂直沟槽的制作,发散角< 2°;
-触摸屏操作,简单易行。
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