CMP在线检测仪

本仪器是CMP在线检测仪用于CMP机台端抛光液在线检测，可以监测CMP抛光液中大粒子含量，可以很好的控制抛光效率，提高成品率。

AccuSizer780系列采用先进的SPOS单颗粒技术和带有ZL的自动稀释进样模块，能真实地测试出样品尾端大粒子的粒度分布和颗粒浓度，具有超高的辨析率和快速测试能力。最高计数可达到E11个/mL,从而确保各种分散体系的稳定性和品质。

单颗粒传感技术填补了其他技术在检测粒径分布中的重要不足粒子数量的统计。自AccuSizer780系列仪器诞生，以往以牺牲精确性和分辨率来换取检测速度和易用的历史一去不复返！

测试范围：0.15 μm 2500μm。

AccuSizer 780系列可为超大粒径颗粒提供最可靠、最准确的粒径和计数数据。AccuSizer780系列仪器揭示出了不同于以往的粒径分布数据。

AccuSizer780系列可以清晰准确地呈现粒径分布，而粒径分布往往是直接与材料物性相关联的。从研发到生产，全球各大实验室均已应用并验证了AccuSizer 780系列仪器可以用作重塑产品品质的强有力工具。

AccuSizer 780系列多功能自动计数粒径检测仪是创先使用自动稀释技术来对样品进行检测，且提供高分辨率的粒径检测分析仪。

AccuSizer 780系列光阻法单颗粒分析仪采用拥有ZL的单颗粒测量技术（SPOS）和动态自动稀释技术实现单颗粒依次检测分析，具有的灵敏度、解析度和精确度，不存在颗粒间相互干扰问题。由于获得的是真实粒度分 布，因此测量结果重复性好、准确可靠、统计精度高，特别适于检测分析亚微米颗粒体系中较大颗粒的分布信息。动态自动稀释和清洗系统使得测试方便快捷。只需通过鼠标的单击操作，即能帮助用户在短时间内完成从进样到检测，进而清洗系统的所有操作，使用户获得粒径的详细分布信息。

近期独立试验证明：在检测离群值（尾部大颗粒）时，单颗粒传感技术（SPOS）比光散射法和声学法敏感1,500到25,000倍。

应用单颗粒传感技术（SPOS）的AccuSizer 780系列光阻法单颗粒分析仪仪器更加稳定和灵敏，一次只允许一个粒子通过检测器，可以避免错过任何一个粒子。

• 粒子灵敏度 ≤10PPT

• 粒径准确度在 ≤2%

• 粒子计数准确度 ≤10%

AccuSizer 780 CMP在线检测仪自动稀释模块简介

AccuSizer 780 系列光阻法单颗粒分析仪自动稀释模块是设备模块化大家庭的基础，AccuSizer780将一系列具有广泛检测范围的传感器和一步稀释装置组合在一起，可以提供灵活多样的具有高分辨率、准确度和灵敏度的粒径检测仪。其地提供了高分辨率和精确度的粒径分布信息，不仅仅提供大数据量的统计学分布信息，还适用于亚微米级别的尾部大颗粒的数量统计。具有ZL的自动稀释模块取代了手动稀释高浓度样品，使得分析更加迅速和方便，不需要培训就可以使测试结果具有良好的可重复性。

CMP在线检测仪工作原理示意图：

CMP在线检测仪应用领域：

医药领域：乳剂，注射剂，脂质体，胶体，混悬剂，滴眼液，高分子，病毒，疫苗等；

半导体：CMP Slurry，芯片，晶圆加工等；

特殊化工品：墨水&喷墨，纳米材料，化工染料，润滑剂，清洗剂等。

其他：过滤产品，清洁度方面，食品饮料，化妆品等