Newport 电动 XYθxθy 倾斜对准位移台

多轴动态对准位移台通过电动化广受欢迎的对准位移台的各个调节轴，从而增强了对准设备的实用性。将 Picomotor™ 促动器与各个位移台集成一体后，可对 X、Y、Z、Θx 和 Θy 的各种多轴组合进行远程高分辨率 (<30-nm) 调节。

轻松对准调制器和光电隔离器
4 轴、5 轴和 6 轴调节版本
分辨率 <30 nm
标准大气压和真空兼容版本

8071 - m XYθxθy机动四轴倾斜调整器增加我们的流行运动阶段的效用使机动化的每个轴。添加Picomotor™驱动器每个阶段允许远程高分辨率(< 30 nm)调整各种组合的X, Y,θx,和θy。模型8071-M四轴对准器是理想的定位调制器或隔离器和耦合光波导器件

技术参数

• 位移轴

  X, Y, θx, θy

• 机制

  Kinematic

• 驱动方式

  Picomotor

• 行程范围

  3 mm  

• 角度范围

  8°

• 负载

  13 N  

• 最小位移增量

  <30 nm

• 角分辨率

  θx, θy≤0.7 µrad

• 端口类型

  6-pin Connectors (2)

• 工作温度

  10 to 40°C

• 螺纹类型

  M4