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Newport 8081M-UHV电动 XYZθxθy 倾斜对准位移台，超高真空
- 品牌：
- 型号： 8081M-UHV
- 产地：美国
- 供应商报价： 面议
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青岛森泉光电有限公司
更新时间：2024-04-24 08:53:10 -
企业性质授权代理商
入驻年限第5年
营业执照已审核
- 同类产品调整台位移台(9件)
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- 详细介绍
8081M-UHV XYZTxTy电动五轴倾斜对准器增加了我们流行的运动阶段的效用，通过电动每一个轴，现在可以在UHV环境(10-9 Torr)以及VUV/EUV应用。Picomotor™执行器在每个阶段的性能都优于X、Y、Z、Tx和Ty的不同组合的小于30nm的远程高分辨率调节。由于其最小的回差，它具有良好的长期稳定性和高刚度。8081-UHV已经过测试，并在85°C的温度下，在超过3小时的时间内，其挥发性物质的出气量小于5ppm。详细描述出气体化合物的质谱图可根据要求提供。M4和M6攻丝孔。使用一个8081-UHV-C电缆，两个8725多轴适配器和两个8742控制器/驱动器来控制所有5个轴。
技术参数
- 位移轴X, Y, Z, θx, θy
- 机制Kinematic
- 驱动方式Picomotor
- 行程范围3 mm
- 角度范围θx=8°, θy=10°
- 负载13 N
- 最小位移增量<30 nm
- 角分辨率θx, θy≤0.7 µrad
- 真空兼容性10-9 Torr
- 线缆类型Kapton® Ribbon Ultrahigh Vacuum Rated
- 端口类型DB15 Female
- 工作温度10 to 40°C
- 螺纹类型M4 and M6
- 产品优势
- 8081M-UHV XYZTxTy电动五轴倾斜对准器增加了我们流行的运动阶段的效用，通过电动每一个轴，现在可以在UHV环境(10-9 Torr)以及VUV/EUV应用。Picomotor™执行器在每个阶段的性能都优于X、Y、Z、Tx和Ty的不同组合的小于30nm的远程高分辨率调节。由于其zui小的回差，它具有良好的长期稳定性和高刚度。8081-UHV已经过测试，并在85°C的温度下，在超过3小时的时间内，其挥发性物质的出气量小于5ppm。详细描述出气体化合物的质谱图可根据要求提供。M4和M6攻丝孔。使用一个8081-UHV-C电缆，两个8725多轴适配器和两个8742控制器/驱动器来控制所有5个轴。
