-
-
MX51半导体检查显微镜
- 品牌:日本奥林巴斯
- 型号: MX51
- 产地:日本
- 供应商报价: 面议
- 上海维翰光电科技有限公司 更新时间:2019-11-06 13:56:56
-
企业性质一般经销商
入驻年限第6年
营业执照已审核
- 同类产品半导体显微镜(3件)
-
为您推荐
- 详细介绍
能对应200 mm晶圆和FPD玻璃基板的电动型号(反射透射兼用)
能够应对从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时亮度光圈连动能进行自动调节。这些功能实现了快速舒适的检查环境。
半导体/FPD检查显微镜 MX61
观察影像实例 晶圆(明视场观察) 晶圆(暗视场观察) 晶圆(微分干涉观察) 彩色滤色片(透射观察) 半导体/FPD检查显微镜 MX61 规格
光学系统
UIS2光学系统(无限远校正)
机身
观察方法
明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
反射/透射
反射/透射
照明装置
机身一体型(明视场,暗视场+1选件)
照明系统
反射照明
100 W卤素/100 W水银/75 W氙
透射照明
纤维光导
对焦单元
电动/手动
手动
行程
32 mm
分辨率/微调灵敏度
微调旋钮转动1周移动0.1 mm
zui大样本高度
30 mm
物镜转换器
电动型
明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔手动式
-
载物台
行程
8×8 英寸右下手柄:210(X)×210(Y)mm(透射照明范围189×189 mm)
6×6 英寸右下手柄:158(X)×158(Y)mm观察筒
广角视场(视场数22)
倒置
双目/三目观察筒
正像
三目观察筒
超宽视场(视场数26.5)
倒置
三目观察筒
正像
倾斜三目观察筒
附件单元
DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸
509(W)×843(D)×507(H)mm(标准组合)
重量
40 kg(标准组合)
- 产品优势
- 能对应150 mm晶圆/FPD玻璃基板的手动操作型号(反射透射兼用)
对应从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。高度的扩展性能可以对应不同的样品,性价比优异。