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德国Raith EBPG5150 电子束光刻机
- 品牌：德国Raith
- 型号： EBPG5150
- 产地：德国
- 供应商报价： 面议
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
更新时间：2024-04-22 10:51:12 -
企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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联系方式：廖敬强0755-81776600
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- 详细介绍
EBPG5150使用了155mm大小的样品台，采用跟EBPG5200一样的通用光刻平台设计，对电子束直写应用进行了优化。它可以载入不同大小的样品,包括多片散片以及完整的硅片。
00001. 高束流密度，热场发射电子枪可以在20、50和100kV之间切换
00002. 155mm的平台
00003. 最小曝光特征尺寸小于8nm
00004. 高速度曝光，可采用50或100MHz的图形发生器
00005. 在所有KVs加速电压下，可连续改变的写场大小，最大可以到1mm
00006. GUI人机交互界面友好，简洁易用，适用于多用户环境
00007. 多项灵活可选择的配置，可以适用于不同应用的需求
可选的系统增强升级
EBPG5150可以选择不同的升级选项，以满足用户不同的技术和预算需求。让全世界的高校等研究类用户也可以使用这款非常先进、高自动化的电子束光刻系统。
EBPG5150 应用
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电子束曝光用于制作GaAs T型器件·
微盘谐振器·
开口环谐振器EBPG5150 产品详情
主要应用：
· 100KV高加速电压可用于曝光高深宽比纳米结构
· 高速电子束直写
· 批量生产，如化合物半导体器件
· 防伪标识
电子光学柱技术：
· EBPG
· 电子束
· 100 kV
样品台：
· 覆盖完整6英寸硅片大小
· 标配2工位自动化上料
(10工位可选)- 产品优势
- 高束流密度，热场发射电子枪可以在20、50和100kV之间切换
155mm的平台
zui小曝光特征尺寸小于8nm
高速度曝光，可采用50或100MHz的图形发生器
