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瑞典MYCRONIC光刻机

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详细介绍

Prexision-800.Prexision-800.Prexision-8/10

Prexision-800 Prexision-80 Prexision-8/10

为未来显示领域的标准而生

现在我们每天都在使用的都是先进的显示技术。从数字标牌和电视机,到智能手机和平视显示器,Prexision系列光刻机在这次技术革命中发挥着关键作用。全世界制造商的先进平板显示器都在使用Prexision系列光刻机。这是消费者可找到的分辨率zui高的屏幕。



主要优势

提高分辨率  25%

更佳的贴片性能 70%

更快的写入速度20% 
Prexision-800

显示器行业显示出快速的技术发展趋势,像素点越来越小,趋向采用复式显示器技术,例如AMOLED。这种趋势需要更复杂的像素设计和更多的内部像素模式。

Prexision-800旨在支持搭配zui先进显示器的节能产品,如:搭配4K显示屏的智能手机。Prexision-800分辨率提高了25%,这一新的分辨率标准,不仅极大改善了均匀性,并且在不影响生产效率的情况下即可实现更佳的图形拟真度,这无疑会使显示器制造商大大获益。 


Prexision-80

Prexision-80是为智能手机和平板电脑显示屏,达到第8代尺寸的面板不断增长的像素密度的光掩膜需求而设计的。对于zui高分辨率的AMOLED和LCD,Prexision-80的光掩膜质量是无与伦比的。我们的Prexision-80全局和局部的贴片性能更高70%,将光掩膜的质量带到了新的高度。 


Prexision-8/10

Prexision-8和Prexision-10是非常适合批量生产先进的TFT-LCD光掩模。Prexision-8可支持的光掩模尺寸符合第八代面板的需求,并且Prexision-10可支持第十代面板。Prexision-8/10利用双重写入模式可提高20%的写入速度,这将有助于您优化吞吐量,质量也将取决于面板尺寸。

 



技术指标


  Prexision-800

  Prexision-80

模式

HA

HT

HA

HT

最小值 L/S 已解决[pitch/2]

550

850

750

 1000

关键尺寸精度[nm]

 15

20

 30

 35

掩膜组套合3σ[nm]

 75

 100

 75

 100

写入速度[mm²/min]

900

1200

900

1200

最大掩膜尺寸[mm]

  1400 x 1620

  1400 x 1620



  Prexision-8

  Prexision-10

模式

HA

HT

HA

HT 

最小值 L/S 已解决[pitch/2]

750

 1000

 750

 1000

关键尺寸精度[nm]

 70

 85

 70

 85

掩膜组套合3σ[nm]

 90

 120

 90

 120

写入速度[mm²/min]

900

1200

900

1200

最大掩膜尺寸[mm]

  1400 x 1620

  1700 x 20



产品优势
提高分辨率 25%;
更佳的贴片性能 70%;
更快的写入速度20% 。
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