等离子清洗机

SolarusTM（型号950）高级等离子清洗系统

SOLARUS - 全新先进等离子体清洗系统，去除碳氢化合物对TEM和SEM样本载台或样品的污染。Solarus是新一代等离子系统，其改造的新概念和zui*技术 令它具有更佳的性能，操作简便和良好的清洗效果。与市面上其他任何等离子清洗体系统相比，Solarus能提供最有效的清洗效果。

SOLARUS具有明确的区别特点：

1. 专用化学气体H2/O2（ZL申请）。 这一独特优势，化学清洗时能减少溅射损伤所有样品，甚至可以清洗多孔碳膜。与传统Ar/O2气体清洗相比，使用H2/O2气体清洗还可以进一步延长样品的冷冻状态保持时间。

2. 交互式触摸屏提供预先编程的气体配比，优化工艺参数，具有更好的一致性和可重复性。

3. 实时RF自动匹配和可变RF电源(10W-65W) 能确保在任何清洗条件下，提供最适宜的等离子体功率，损坏最小。

4. 质量流量控制器(MFC)提供准确的气体控制量，使等离子体清洗机性能长期稳定，具有H2, O2和 Ar三个独立的组分通道。

5. 通过前面两个插口多功能腔体能接受两个透射电镜样品杆，同时打开顶部的盖子能装入多种扫描样品。

6. 涡轮泵系统不停运行使整体循环速度提高几倍。 泵 - 50秒 VS竞争对手的3分钟；通风 - 5秒VS竞争对手的6分钟。

7. 多语言系统操作指令包括英语、德语、法语、中文、韩语、日语。

Solarus独特的设计提供更好的性能和更高的生产量：

1. 改进温和清洁，没有溅射；
2. 优异的重复性；
3. 清洁参数适应性更多，可适用于更多种类的材料；
4. 更快的清洗速率使得其有更高的清洗数量。

等离子体清洗机的优点：
- 增强成像能力(低电压)
- 化学微量分析时提高精度
- EDX和EBSD 有更长时间的读取和获取次数

STEM和EELS分析必须使用较小尺寸探针