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Phasics SID4-UVHR波前传感器

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详细介绍

Phasics SID4-UVHR波前传感器

Phasics利用其ZG的四波横向剪切干涉技术,在紫外波前测量提供了优良的解决方案。它有非常高空间分辨率(250x250测量点)和在190-400nm范围具有高灵敏度(0.5 nm RMS)。因此,SID4-UVHR是完全适用于光学元件的特性(用于光刻技术、半导体…)和表面检查(透镜和晶片…)。由于它小巧,易于使用,能有效地适应各种实验条件。

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                              SID4-UVHR                                光学器件测量                                自适应光学

 特点:

由于其独特的ZG技术技术,PhasicsSID4-UVHR波前传感器具备以下特点:

1.超高分辨率:250x250测量点

2.高灵敏度:0.5nm

3.通光孔径大8*8mm

4.直接测量:光学元件和表面质量

 应用:

SID4-UVHR紫外波前传感器提供应用:

紫外激光器:光束测试与校正

光学测量:UV光学测试(半导体…)和表面测量

 SID4-UVHR产品参数:

波长范围

190 - 400 nm

通光孔径

8 x 8 mm2

空间分辨率

32 µm

采样点(相位/强度)

250 x 250 (> 62 500 points)

相位相对灵敏度

0.5 nm RMS

相位精度

10 nm RMS

动态范围

 ~

采样频率

> 30 fps

实时分析频率

1 fps (full resolution)

数据接口

Giga Ethernet

尺寸(w x h x l)

95 x 105 x 184 mm

重量

~900 g


产品优势
Phasics利用其ZL的四波横向剪切干涉技术,在紫外波前测量提供了的解决方案。它有非常高空间分辨率(250x250测量点)和在190-400nm范围具有高灵敏度(0.5 nm RMS)。因此,SID4-UVHR是完全适用于光学元件的特性(用于光刻技术、半导体…)和表面检查(透镜和晶片…)。由于它小巧,易于使用,能有效地适应各种实验条件。
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