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P-300B Advanced ALD 高级原子沉积机

品牌：芬兰Picosun
型号： P-300B Advanced
产地：芬兰
供应商报价：面议

深圳市蓝星宇电子科技有限公司更新时间：2024-04-10 09:45:03

企业性质生产商

入驻年限第6年

营业执照已审核

同类产品芬兰 Picosun 原子层沉积机(12件)

联系方式：廖敬强0755-81776600

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详细介绍

PICOSUN P-300B Advanced ALD 高级原子沉积机

技术参数
。基片尺寸和类型 300mm晶圆10片/批次（标准间距）
。200mm晶圆25+2片/批次（标准间距）

工艺温度 ：50 - 500 °C

基片传送选件：

气动升降（手动加载）
半自动装载，用线性装载器实现
52片晶圆盒式全自动装载，用真空批量Load lock实现

前驱体：

液态，固态，气态，臭氧源
前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务
4根独立源管线，最多加载6个前驱体源

重量：400 + 300 kg

尺寸： (W x H x D) 149 cm x 191 cm x 111 cm

选件：PICOFLOW™ 扩散增强，N2发生器，尾气处理器，定制设计，与工厂软件连接服务。

验收标准：标准设备验收标准为 Al2O3 工艺

PICOSUN™ P系列 ALD

PICOSUN高产量的批量型工业用ALD系统

各种先进的批量产品装载及自动化选项ALD技术可以覆盖各种形状、各种表面的样品，可以覆盖最细小的地方，最难到达的地方。具有高度的保形性、均一性及100%无针孔。这使得ALD可以应用于各种行业里，实现各种表面的保护。ALD薄膜可以附着在各种表面上，例如金属，玻璃，塑料，乃至纤维及粉末。作为气相、低温的沉积技术，ALD薄膜可以生长在非常敏感的表面上，例如聚合物薄膜。

今天，Picosun的ALD技术应用在钟表部件、珠宝、硬币上进行防着色，防腐蚀的装饰涂层。在生物植入医疗部件上的生物兼容、生物活性涂层。致密、惰性、密封、弹性、透明的ALD薄膜技术挑战传统的膜生长方式。在PCB防腐蚀保护、防摩损等领域，ALD层大大提升了部件的质量、可靠性及寿命。

D 应用

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