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BW 228-3FA 全自动晶圆贴片压合机
- 品牌:台湾正恩科技
- 型号: BW 228-3FA
- 产地:台北
- 供应商报价: 面议
- 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2024-04-24 09:08:30
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企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
- 同类产品晶圆贴片/贴膜机系列(8件)
联系方式:廖敬强0755-81776600
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- 详细介绍
BW 228-3FA 全自动晶圆贴片压合机
卖点
。SECS / GEM 功能
。适用单面 / 双面膜
。全自动贴片压合 ( 可贴合晶圆 + 陶瓷盘 / 玻璃等材料 )机台优势
。压合受力均匀
。快速抽换膜料和更换废料滚动条。作业方式
步骤一:操作人员将 6 吋晶圆卡匣、晶圆载盘卡匣、及各膜料放置预定位置后开始作业。
步骤二:利用机械手臂,将 6 吋晶圆从卡匣取出,经中心对位及正反面判读后,再放置于晶圆吸附平台上。
步骤三:晶圆吸附平台移至胶膜贴合位,利用压轮及夹膜机构夹住胶膜并滚压移载台移动至切割位。
步骤四:切割刀下降至预定位置,旋转刀具切割膜料,切割完成后上升。
步骤五:移载台移至撕膜位,利用撕膜胶带将6吋晶圆上之离型膜黏起后,移载台移至真空压合位。
步骤六:机械手臂将晶圆载盘从卡匣取出,经中心对位及正反面判读后,再放置于上吸附盘。
步骤七:真空压合机构下降至预定位置,真空罩开始吸真空,到达预定真空值后开始进行 6 吋晶圆与晶圆载盘之贴合。
步骤八:完成贴合后,机械手臂再将成品取回,放置成品区卡匣,完成。
《持续重复步骤二~步骤八。》
设备规格
设备尺寸
2800 mm × 1200 mm × 2500 mm ( W×D×H )
设备重量
2000 kg
电源AC
3 Ø 220 V ∕ 50 A
空气源
5~8 Kgf/cm2 (12 ØTube)
设备应用范围
晶圆尺寸
6″
晶粒尺寸
无
雷切深度
无
贴合物尺寸
8″
机台特性:
- 产品优势
- 压合受力均匀;
快速抽换膜料和更换废料滚动条。
- FUNCTION-STOP FOR SCREW-THREADS, SVS, FA 6, OD TUBES
- FUNCTION-STOP FOR SCREW-THREADS, SVS, FA 8, OD TUBES
- FUNCTION-STOP FOR SCREW-THREADS, SVS, FA 10, OD TUBE
- FUNCTION-STOP FOR SCREW-THREADS, SVS, FA 12, OD TUBE
- 德国徕卡 体视显微镜 M205 FA
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