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BW 232FA 全自动晶圆清洗机
- 品牌：台湾正恩科技
- 型号： BW 232FA
- 产地：台北
- 供应商报价： 面议
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
更新时间：2024-04-10 09:45:03 -
企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 详细介绍
BW 232FA 全自动晶圆清洗机
卖点
。SECS / GEM 功能
。全自动超音波洗净
。Barcode 读取机台优势
。可置放两组 Cassette
。加热功能
。四面溢流与过滤循环功能作业方式
第 一槽: 药剂超音波槽。
第二槽: 药剂超音波槽。
第三槽: 纯水 QDR 槽。
第四槽: 纯水 QDR 槽。
第五槽: 纯水 QDR 槽。
第六槽: 真空干燥槽。设备规格
设备尺寸
4330 mm × 2120 mm × 2980 mm ( Ｗ×Ｄ×Ｈ )
设备重量
3500 kg
电源ＡＣ
415V (50/60 Hz) 3 phase 5 wire Volt.(V)
240V (50/60 Hz) (RSTNG) Volt.(V)空气源
压缩干燥空气 6~8 Kgf/cm2
N2
General Nitrogen 2 m³/min
设备应用范围
晶圆尺寸
6″ 晶圆
晶粒尺寸
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雷切深度
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胶环尺寸
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膜料尺寸
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机台特性
- 产品优势
- 可置放两组 Cassette；
加热功能；
四面溢流与过滤循环功能。
