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RF-120系列高频电源
- 品牌：日本电子
- 型号： RF-120系列
- 产地：亚洲 日本
- 供应商报价：面议
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
更新时间：2024-09-14 16:40:34 -
销售范围售全国
入驻年限第6年
营业执照已审核
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产品特点
- 日本JEOL RF-120系列高频电源，是溅射、刻蚀、CVD、离子镀等薄膜制备/加工使用的、用于生成等离子体的13.56MHz高频电源（RF电源）。
详细介绍
RF-120系列高频电源
是溅射、刻蚀、CVD、离子镀等薄膜制备/加工使用的、用于生成等离子体的13.56MHz高频电源（RF电源）。产品规格：
RF-12010
RF-12020
RF-12030
RF-12040
最大输出功率
750W
1.5kW
3kW
6kW
输出接头
N 型
LS2 型
输入电压
AC 200V ±10V, 三相, 50/60 Hz
输入电流
AC 5A
AC 8A
AC 20A
AC 35A
振荡方式
他激式晶体振荡
振荡频率
13.56MHz ±0.005%
输出稳定度
±0.5％以下 (最大输出功率, 对50Ω电阻负载)
波动
1％以下 (最大输出功率, 对50Ω电阻负载)
总谐波失真
- 50dB (最大输出功率时)
制冷方式
强制空冷
水冷
5～7L/分
5～6.5L/分
外观尺寸 (mm)
Wide
481
481
481
481
Depth
430
504
504
510
Hight
149
199
199
349
重量(kg)
18
25
27
55
*RF-12040由单元1（149mmH/25kg）和单元2（199mmH/30kg）构成。
*外观尺寸不包括突起部分（背面的风扇等）。RF-56000 外观尺寸 ： 105mm(W)×305mm(D)×145mm(H)
沪公网安备 31011502008050号