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BS-80020CPPS等离子体源

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详细介绍

BS-80020CPPS是用于辅助低温(100℃以下等)下塑料基板和胶片成膜的等离子体源。

 

产品规格:

最大放电输出

3.2kW (160V, 20A)

最大辅助输出功率

2kW (200V, 10A)

工作压力

8×10-3 ~ 8×10-2Pa (Ar, O2, N2 气氛)

放电气体(Ar)

8 ~  20mL/分

适用控制电源

BS-92040CPPC


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