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Hiden HPR30过程气体分析质谱仪
- 品牌：Hiden Analytical
- 型号： HPR30
- 产地：英国
- 供应商报价： 面议
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北京英格海德分析技术有限公司
更新时间：2021-12-23 16:54:49 -
企业性质授权代理商
入驻年限第7年
营业执照已审核
- 同类产品等离子体-材料表面(18件)
联系方式：13910904182010-52722415
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- 详细介绍
技术参数：
HPR-30真空过程气体分析系统(Process Gas Analyser)，适用于监测分析残余气体和真空工艺过程中的气体组成及变化。
应用：
CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
真空涂覆/ 等离子刻蚀
沉积溅射
污染物研究
基本压力辨别
泄漏探测/ 实质泄漏/脱附分析
除气/烘烤/泵效能
反应室/过程气体污染物
特点：
简洁的桌上型，移动推车或控制台架结构
Direct re-entrant流孔板，差式泵，以达到最适宜的灵敏度
连续取样从10-4mbar至1mbar.
高灵敏度（zuiyou可至5ppb），质量数可选至1000amu
软离子化技术，分析复杂有机物，或表观MS研究
稳定性好(24h之上，峰高变化小于±0.5%)
MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制
气动阀自动控制；出现电力不足或压力过大等不安全状况时可启用手动隔离装置
自动、同时数据取得、分析，实时显示、报警
