-
-
EQP等离子体质量和能量分析质谱仪
- 品牌:Hiden Analytical
- 型号: EQP
- 产地:英国
- 供应商报价: 面议
- 北京英格海德分析技术有限公司 更新时间:2021-12-23 16:54:49
-
企业性质授权代理商
入驻年限第7年
营业执照已审核
- 同类产品等离子体-材料表面(18件)
联系方式:13910904182010-52722415
联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!
-
为您推荐
- 详细介绍
仪器简介:
HidenEQP是一台结合质量和能量分析的仪器(MassandEnergyAnalyserforPlasmaDiagnostics),用于分析等离子过程中阴、阳离子、中性粒子以及自由基。
技术参数:
应用:
蚀刻 / 沉积作用研究
离子植入 / 激光烧蚀
残余气体分析 / 泄漏检测
等离子体电感耦合,即在操作中遵从电极设定条件
通过视口、接地电极和驱动电极进行分析
主要特点:
软件控制的离子汲取光学系统,以使等离子体扰动最小
45°静电扇区分析器,扫描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
所有能量范围内,离子行程的最小扰动,及恒定离子传输
带差式泵的三级过滤四极杆,质量数范围至2500amu
高灵敏度 / 稳定的脉冲离子计数检测器,有7个数量级的动态范围
可调谐的离子源,用于电子附着选件的表观电势质谱分析
Penning规和互锁装置可提供过压保护
信号选通分辨率1μs,用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布随时间的变化
1000eV 选配, 漂浮电压可选至10keV, Faraday 杯用于高密度等离子体
Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可选,高压操作可选
通过RS232、RS485或Ethernet LAN,控制软件MASsoft
- PSM等离子体质量和能量分析质谱仪
- 等离子体刻蚀终点检测仪
- NexION 350 Series电感耦合等离子体质谱仪/ICP-MS
- 珀金埃尔默NexION® 1000G 电感耦合等离子体质谱仪
- NexION 1000电感耦合等离子体质谱仪ICP-MS
- 珀金埃尔默NexION电感耦合等离子体质谱仪/ICP-MS
- 赛默飞iCAP™ 7400 ICP-OES 等离子体光谱仪
- 赛默飞iCAP RQ 电感耦合等离子体质谱仪
- 赛默飞iCAP TQ电感耦合等离子体质谱仪
- 赛默飞iCAP™ 7200 ICP-OES 等离子体光谱仪
- Agilent 7800 电感耦合等离子体质谱仪
- Agilent 7900 电感耦合等离子体质谱仪