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二次离子质谱探针

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详细介绍

仪器简介:
EQS是差式泵式二次离子质谱(SIMS-SecondaryIonMassSpectrometer‘Bolt-On’probe),可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用zui*技术 的SIMS探针,便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。




技术参数:
应用:

静态 /动态SIMS
一般目的的表面分析
整体的前端离子源,便于RGA和 SNMS
兼容的离子枪/ FAB 枪
成分/污染物分析
深度分析
泄漏检测
与Hiden SIMS 工作站兼容


主要特点:
高灵敏度脉冲离子计数检测器,7个数量级的动态范围
SIMS 成像,分辨率在微米以下
光栅控制,增强深度分析能力
45°静电扇形分析器, 扫描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM.
所有能量范围内,离子行程的最小扰动,及恒定离子传输
差式泵3级过滤四极杆,质量数范围至2500amu
灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器
Penning规和互锁装置可提供过压保护
通过RS232、RS485或Ethernet LAN,软件 MASsoft控制

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