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美国SVT 在线阴极荧光光谱仪/In-Situ CL

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详细介绍



此在线CL系统是监控MBE生长过程的理想选择。

CL可以放置在独立的观察窗位置。

通过RHEED枪以及敏感的光学探测系统,CL可以实时提供材料组分的准确信息,并进行实时光学分析。

部件有8''的前后移动容域度,避免与其他部件相互干扰。

CL通过电子激发技术调节电子能量,可以检测较深的薄膜表面信息。

与其配套的Windows软件操作系统,可以实现操作自动化及图谱分析。

特点

一个端口可以同时监测薄膜成分和光学分析

掺杂水平信息

部件可前后移动,使部件间相互干扰最小化

全电脑控制及分析

光谱范围

200-900nm

分辨率

0.5nm

探测器量子效率

25%

探测器输出

10V/nW

噪音等效

<250V

观察窗口

2.75''CF

外部尺寸

9.0''X25.5''X10.1'' (22cm×65cm×26cm)

腔室内尺寸

1.25''×13.1'' (3.2cm×34cm)

行程距离

最大8''(20.3cm)

靶距离

2''(5.1cm)

电脑要求

Windows 9X,2000,XP


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