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EWave® 雙極脈衝直流電系列

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E'Wave 直流系列
Advanced Energy 的 E'Wave 直流源改善了表面均性,少了嵌程流程 (dual-damascene process flow, DDPF) 用的段之附加消耗,包括在生境和程中的晶。E'Wave 源提供多三通道,每都有一立的源,能生成、存和行多15由流控制或由控制的波形。
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