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MDX 系列

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MDX 系列500 W
MDX 500 在真空境中久耐用,能在磁控境中不同型的弧行多YZ和弧。在基本磁控射、射偏直流射以及直流偏射射中表yi流。其小巧的尺寸使其非常合於室系和小模的生境。
MDX 系列1 kW 和1.5 kW
精密的功能、良的弧和低的存出能量使 MDX 系列直流源成界的先品。由於在真空境下的久耐用,些於劣境的源常被作直流磁控管射而受到泛用。品系列提供精密的性能,如射射中的偏源和刻系。密的使之成室系首解方案。
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