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辛耘清洗蚀刻设备

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详细介绍
辛耘科技致力于高端清洗蚀刻设备的研发和生产 拥有强大的研发与软件编写团队 实现完全自主的软硬件售后服务和升级 zui*程度地解决了客户的后顾之优 产品涵盖2”~12”主流湿法工艺以及薄片、大功率器件、高温制程、电镀 、化镀 、等特殊应用、广泛应用于半导体、三五族、微机电、和LED领域

仪器简介:
  • 2”~12” 手动/半自动/全自动湿制程设备及干燥机
  • 传送技术: Cassette type / Boat type / Cassette-less
  • 领域 : 半导体前后段 / LED / 蓝宝石/薄片/ GaAs / MEMS…
  • 制程 : lean/Etching/PRStrip/Solvent/Developer/Reclaim/Plating /High-temp/De-wax/CDU

特点:
  • 高稳定性与高可靠度
  • 自有的软硬件设计及完善QC系统
  • 可提供客制化与量产设计
  • 可灵活实现 手动 半自动 全自动及干进干出 功能
  • 多种可选择的晶圆传递方式(cassette /cassetteless /both type)
  • 友好的人机操作界面
  • 完整的全自动生产(包括SMIF、晶圆传递、晶圆盒的自动传递)
  • 完善的客服系统
  • **可提供cassetteless传输的local厂家
应用领域:
  • 半导体/三五族/微机电:
  • 4”-12” 相关清洗、显影、蚀刻等制程
  • LED :
  • 蓝宝石基板清洗工艺(切割、研磨、抛光段应用、PSS图形化衬底应用)前后端工序中的清洗、显影、蚀刻、去胶、高温磷酸(侧腐蚀工艺)、化镀金工艺等湿法应用
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