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jasco,膜厚测定系统（UTS-2000)
- 品牌：日本分光
- 型号： UTS-2000
- 产地：日本
- 供应商报价： 面议
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沈阳佳士科商贸有限公司
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企业性质
入驻年限第9年
营业执照
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- 详细介绍
◆规格
UTS-2000
机种
UTS-2000
测量方式
FT/IR 干膜厚测量法
测量配置
反射、透过（选配）
样品尺寸
20 × 20 ～ 1200 × 1200μm
显示器
内置CMOS相机确认测量位置
●测量范围／精度
测量膜厚范围
0.25μm～750μm（Siの合）
测量膜厚再现性
0.005μm以下 (同一点返し定、Si の合)
●XY样品台
距离
200mm×200mm
驱动分辨率
2μm
●数据处理部
对应OS
Windows 7 Professional
控制装置
JASCO光学管理器控制光学系统／控制XY样品台／控制搬送机（选配）
