台式场发射扫描电镜

8500场发射扫描电子显微镜通过微型化静电聚焦镜的设计，有效避免传统电磁聚焦镜在成像过程中的滞后现象。不同于传统电镜在更换电子源后必需的复杂标定过程，是德科技8500系统通过现场更换ECD Cartridge,用户可得到一个全新的电子源、并配有高精度的电子束发射腔以及全新的检测器，相当于再次拥有了一台全新的8500FE-SEM。

特点和优势

• 场发射高分辨扫描电子显微镜，结构优化，核心元件达到晶元尺度。在保持高端扫描电子显微镜性能的同时，大大减少对试验条件和配套设备的要求，并极大降低了后续场发射扫描电子显微镜的使用成本和维护成本

• 创新的静电聚焦镜设计，无需调校，重复性好。

• 创造性的ECD cartridge (集电子源、电子束发射腔，和检测器于一体）设计，终生无需标定。

• 在低压条件下，稳定得到高分辨的成像结果，针对能量敏感型或易电子损伤样品，能避免高压电子束对样品造成的熔融现象。

• 成像电压连续可调，样品台XYZ三轴自由调控。

• 在保证高性能的同时，大大降低试验安装要求，以及使用成本。不用液氮，电源即插即用。

• 制样筒单，样品无需喷金喷碳，完整保留样品的真实形貌特征，适用于各种导电/非导电样品。