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等离子体分析飞行时间质谱仪 PP-TOFMS

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详细介绍

原理:
等离子体等离子体分析飞行时间质谱仪是一个全新的仪器,它结合了GD等离子体的溅射速度和飞行时间质谱的灵敏度,实现了高分辨率和高灵敏度条件下固体材料的快速化学深度剖析。

ZD应用领域:
掺杂分析(半导体、光电子、太阳能光伏、传感器、固态光源)
表面和整体污染鉴定(PVD镀层、摩擦层、)
腐蚀科学和技术(示踪物、标记监测、同位素分析)
界面监测


参数:
采集速率:每30μs一张全质谱
质量分辨率:选择高分辨率模式时,在m/z208可达5000
动态范围:107
质量准确度40ppm
灵敏度:103cps/ppm
深度分辨率:nm
正负离子模式
4个离子的灵活消隐功能
简单易用的水平样品装载

产品特点:
样品分析快速无预处理:无需超高压腔
适用于各种材料及镀层分析
全质量覆盖:可提供从H到U元素的完整质谱和分子信息,包括同位素监测
独有3D数据 ,脉冲射频模式(ZL)
高深度分辨率:测试薄层可至1nm到厚层:厚层可达100μm
无需校准的半定量分析:溅射和电离过程分离,使得基体效应最小化

原理图:


应用实例:

富含O18氧化钽的同位素分析


Si PV的杂质识别

Si中B的定量掺杂



InGaN中Mg的定量分析






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