日本三丰表面粗糙度测量仪SV-3100

特点

三丰Surftest SV-3100系列产品可进行高精度、高水平分析，多功能3D表面粗糙度分析，微细轮廓测量，以及原有的表面粗糙度测量。

自动调水平工作台、3轴调整台等外部设备的应用，有效增强了该产品的操作性能，同时也真正实现了自动测量。

安装了数据分析软件FORMTRACEPAK。FORMTRACEPAK对从车间到实验室中得到的数据进行统一格式的管理。

采用陶瓷制作的X1轴驱动部导轨，因为陶瓷具有极好的防磨损性能。无需润滑油也能正常工作。

为了保证高精度测量，内置了高精度的玻璃尺（X1轴分辨率：0.05μm,Z2轴分辨率：1μm）。

配有多种功能，如“直线度补偿功能”，可确保X轴的线性精度；“圆度补偿功能”，可保证测针的垂直移动；以及“针尖半径补偿功能”等。

测针和测针导头都可轻松替换。可选测针和导头可适应各种粗糙度测量的需要，如小孔测量、深孔测量等。

配备了易于操作的控制箱，其与主机分离，可进行开始/停止测量、返回以及远程进行其他操作。驱动部的上/下位置和X轴的移动都可手动进行微调。

技术参数

X轴

测量范围: 100mm或200mm

分辨率: 0.05μm

驱动速度: 0-80mm/s

测量速度: 0.02-5mm/s

Z2轴(立柱)

垂直移动: 300mm或500mm ,动力驱动

分辨力: 1μm

驱动速度: 0-20 mm/s

检出器

范围/分辨率: 800μm/0.01μm，80μm/0.001μm，8μm/0.0001μm

检测方法: 无轨/有轨测量

测力: 0.75mN或4mN

测针针尖 : 金刚石，90°/5μmR (60°/2μmR)