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上海伯东代理美国原装进口 KRI 霍尔离子源 eH200
- 品牌:美国KRI
- 型号: eh
- 产地:美国
- 供应商报价: 面议
- 伯东企业(上海)有限公司 更新时间:2024-01-12 11:03:59
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企业性质授权代理商
入驻年限第10年
营业执照已审核
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KRI 霍尔离子源 eH 200
上海伯东代理美国原装进口 KRI 霍尔离子源 eH200 是霍尔离子源型 eH 系列中尺寸最小, 低成本设计离子源. 霍尔离子源 eH200 适用于小型真空腔内, 例如研发分析, 薄膜沉积和离子清洗. 霍尔离子源 eH200 操作简单是理想的生产工具.
KRI 霍尔离子源 eH 200 技术参数:型号
eH 200
供电
DC magnetic confinement
- 电压
40-300V VDC
- 离子源直径
~ 2 cm
- 阳极结构
模块化
电源控制
eHx-3005 A
配置
-
- 阴极中和器
Filament or Hollow Cathode
- 离子束发散角度
> 45° (hwhm)
- 阳极
标准或 Grooved
- 水冷
无
- 底座
移动或快接法兰
- 高度
2.0'
- 直径
2.5'
-加工材料
金属
电介质
半导体-工艺气体
Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors
- 安装距离
6-24”
- 自动控制
控制4种气体
* 可选: 可调角度的支架; Filamentless; Sidewinder
KRI 霍尔离子源 eH 200 应用领域:
溅镀和蒸发镀膜 PC
辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
直接沉积 DD若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗先生 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
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- 产品优势
- 上海伯东代理美国原装进口 KRI 霍尔离子源 eH200 是霍尔离子源型 eH 系列中尺寸最小, 低成本设计离子源. 霍尔离子源 eH200 适用于小型真空腔内, 例如研发分析, 薄膜沉积和离子清洗. 霍尔离子源 eH200 操作简单是理想的生产工具.
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