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伯东普发四级质谱分析仪 PrismaPlus
- 品牌:德国普发真空
- 型号: PrismaPlus
- 产地:德国
- 供应商报价: 面议
- 伯东企业(上海)有限公司 更新时间:2024-03-27 15:06:09
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企业性质授权代理商
入驻年限第10年
营业执照已审核
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残余气体分析质谱仪PrismaPlus--四级杆质谱分析仪
上海伯东代理德国 Pfeiffer 残余气体质谱QMG系列,模块化设计,质量数范围 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu。内置四极分析仪、四极电子装置、电源件和Quadera 软件。残余气体质谱QMG系列离子源配备两组灯丝,适用于多种测量用途,使用寿命长。
Pfeiffer 四极质谱仪PrismaPlus 主要优势:
1. 模组化设计提供了产品**的适应性
2. 结构紧凑,性能出众
3. 多种介面,系统集成简单
4. 可通过乙太网网路化
5. 测试过程快速稳定,解析度高
6. 分析器以及电子的可替换性
7. 双灯丝设计保证最大的可靠性
8. zuidi的可检测分压达1 x 10E-14 mbar
9. 配置Quadera软体,操作直观
残余气体分析仪PrismaPlus 技术参数:型号
QMG 220 F1
QMG 220 F2
QMG 220 F3
QMG 220 M1
QMG 220 M2
QMG 220 M3
检测器
法拉第 Faraday (F)
电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
质量数 amu
1100
1200
1300
1100
1200
1300
四极杆直径/长度
6/100 mm
最小检测极限 F mbar
1X10-12
2X10-12
4X10-12
5X10-12
1X10-11
2X10-11
最小检测极限 M mbar
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1X10-14
< 2X10-14
< 4X10-14
对Ar的灵敏度 F A/mbar
1X10-3
6X10-4
3X10-4
5X10-4
3X10-4
1.5X10-4
对Ar的灵敏度 M A/mbar
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200
200
100
最大工作压力 F
1X10-4 mbar
最大工作压力 M mbar
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1X10-5
1X10-5
1X10-5
对临近质量数的影响
< 10 ppm
< 20 ppm
< 50 ppm
< 10 ppm
< 20 ppm
< 50 ppm
操作温度 F
150 °C
烘烤温度 F
200 °C / 300 °C
连接法兰
DN 40 CF-F
重量
2.4 kg
2.4 kg
2.4 kg
3.8 kg
3.8 kg
3.8 kg
残余气体分析质谱仪应用:四极质谱仪QMG非常适合于检漏,残气分析以及综合定量分析
1. 冶金 2. 真空炉 3. 加速器 4. 溅射工艺分析 5. 半导体生产 6. 玻璃镀膜 7. 研发 8. 真空工艺上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例一:分子束外延 MBE 气体分析
上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例二:对 XPS 系统的分析室残余气体进行定性和半定量分析
上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例三:分析真空钎焊过程中产生的气体成分和含量
1.设计紧凑
PrismaPlusTM是新型定量定性气体分析和检漏的质谱仪。该四极质谱仪积累了丰富的应用经验,高灵敏度,高稳定性和智慧化操作的wan美结合是 PrismaPlusTM 四极质谱仪新的优点。在适用中客户将感受到它坚固,紧凑的设计和简单的系统集成,并从中受益。
2.应用范围广阔
通过可选择质量数范围,检测器、离子源和介面介面等,该四极质谱仪可以应用于多个领域,例如:工业和分析领域、研发、检漏、半导体生产以及镀膜工艺等。PrismaPlusTM 四极质谱仪是从品质保证,残气分析直至综合的定量分析工作等应用领域的**方案。
3.检测速度快,灵敏度高
PrismaPlusTM 四极质谱仪可 以在三个不同的质量数范围(1-100,1-200,1-300 amu)内,下至检测极限1*10-14 mbar 情况下给出精确的检测结果。在真空系统中,配合有效的法拉, 第和电子倍增检测仪,即使很低程度的污染也可以被快速地识别出来。除显示可选择的分压外,直接增加一个压力量规,PrismaPlusTM 四极质谱仪就可以作为一个精确的全压监控器使用。
4.智慧化的软体
Quadera 软体不仅操作简单,它还提供了捕获和观察所有测试资料以及参数记录的易读平台。结合多种可供选择的介面介面,例如乙太网,数位式和类比式输入输出,可以方便地集成到各种系统中去。轻点滑鼠就可以启动预设的功能。Pfeiffer 气体质谱分析仪:上海伯东真空产品事业部是德国 Pfeiffer指定销售维修中心,我司是国内代理 Pfeiffer产品的公司,100% 原装进口并提供 Pfeiffer 全系列真空产品的售后维修服务。