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纳米操作机、纳米机械手、纳米操纵机械臂、纳米操纵仪TNI LF-2000

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详细介绍


纳米操作机、纳米机械手、纳米操纵机械臂、纳米操纵仪TNI LF-2000

产品简介

TNI LF-2000是兼容SEM/FIB的自动化纳米操作系统,也是能够在SEM/FIB下提供可重复定位、低漂移、闭环运动控制定位的纳米操作系统。

产品特征

 完全兼容主流电镜,不影响电镜功能
· 卓越的运动定位性能:大行程、亚纳米分辨率
· 位移传感器集成自动化和可编程运动
· SEM真空环境优化设计,可快速安装与拆卸

规格参数

系统概况系统尺寸127x127x33mm3
机械手数量1-4
操作手(宏动)驱动原理粘滑驱动
运动范围XY轴:10mm Z轴:5mm
最大速度>3mm/s
最小步长<100nm
操作手(微动)驱动原理无摩擦柔性铰链
运动范围XYZ轴:20μm
最大速度>45μm/s
开环运动分辨率0.5nm
闭环运动分辨率1nm
定位漂移率<0.35nm/min
软件功能**点击-移动鼠标在电脑屏幕上从A移动到B
自适应放大倍数定位器移动速度根据SEM放大自动调整
操作手位置保存/加载用户自定义的“保存/加载”操作手坐标
3D虚拟显示实时三维显示操作手的位置和运动
自动校准操作手闭环传感器自动校准
运动轴的自动对准所有操作手运动轴自动对准SEM图像轴

*系统尺寸可根据需要减小到50x50x17mm3

**可根据选定SEM/FIB的型号而定

应用案例

力学测量

LifeForce为纳米材料的力学特性提供
高分辨率的力和位移反馈,图片展示的
是用球端AFM悬臂探针对单根纳米线的拉
伸测试。



电学特性

LifeForce为纳米材料提供可靠、低噪音
的电测量,以及与纳米结构的原位相互连接。
图片展示的是四探针测量纳米线电学性能。




拾取和放置操作

使用末端工具(例如:探针、微纳米夹
持器、超声切割针),操作者能够操作
LifeForce纳米操作手在SEM电镜内对微
纳米物体进行推、拉和抓取等操作。



制作微纳米器件

精密的操作手运动能够实现微纳米器件
的快速成型和后处理。图片展示的是纳
米线FET传感器的构造。





产品优势
小尺寸:小型化设计,结构紧凑,zui小尺寸可达50x50x17mm
高精度:纳米级微操作
易操作:XYZ直角坐标,支持PC/遥感操作
产品直通车
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