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Dektak 8 探针轮廓仪(台阶仪) Dektak 8 探针轮廓仪(台阶仪)
- 品牌:德国布鲁克
- 型号: DEKTAK 8
- 产地:美国
- 供应商报价: 面议
- 上海科学仪器有限公司 更新时间:2024-02-18 17:34:48
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企业性质
入驻年限第9年
营业执照
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- 详细介绍
- 仪器简介:
Dektak8台阶式探针轮廓仪,结构紧凑,可提供很高的重复性和精度。独特的XY方向定位系统可移动到8x8inch区域的任何位置。它不仅能测量台阶高度和表面纹理,还能测量金属蚀刻速率的均匀性、焊点高度、纤维光学元件和显微透镜。全程程序控制的Dektak8系统对于MEMS,纳米技术和半导体应用都非常方便。
技术参数:台阶高度重复性: 7.5,1σ在1um标准台阶上
最大晶圆尺寸:200mm
最大样品厚度:25.4mm (1 in.)
每次扫描数据点:最多可达60,000数据点
扫描长度范围:标配最大50mm
垂直范围:标配262um;可选1mm
最大垂直分辨率:1 (6.55微米垂直范围下)
主要特点:1. 台阶高度测量重复性高
2. 是功能最为强大的探针轮廓仪,可最大限度的满足各种应用需要
3. 简单易用
4. 作为一款桌面型轮廓仪,扫描范围可达200mm - 技术资料
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