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美国Rtec非接触式光学轮廓仪/形貌仪

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详细介绍
  • 美国Rtec公司的WLI非接触式光学轮廓仪测量系统沿着纵轴捕获一系列位置的光强数据。通过白光干涉图的形状,干涉图的局部相位或者是二者的结合来确定表面位置。本公司还有激光共焦,白光共焦,拉曼光谱仪等,可以把这些设备自由组合在一起,以实现客户的不同需求
    WLI有如下特点
    快速直观的操作
    较高的计算程序,精确的高测量速度和简便的操作软件,使用户能够快速的分析和创建报告
    多个物镜
    该WLI-1000 带有6物镜转轮,包括多个物镜:长焦,短焦,不同数值孔径,投射镜头等
    电子器件
    先进的控制器,低机械噪声,自校准系统,可选波长,64位并行处理器,标准分辨率达到1920*1920
    硬件
    WLI-1000能够被固定到全自动化的平台,高强度LED10年保修,高级精加工零部件,低能耗,远程访问,内置相机侧视图,有效照明等。
    软件
    三维虚拟软件
    影像分析
    多种标准,粗糙,平面,波浪以及其他表面参数
    微粒(粒子)和细孔分析
    力曲线分析
    附带傅里叶分析
    过滤
    用户界面报告的创建和编辑
    影像编辑特征-光,颜色等
    尺寸,表面积,体积,承载比分析
    纹理计算,分类,其他纹理分析
    光谱和分形分析
    先进的统计分析
    能够输出原始数据,影像,全部报告
    数个可用的附加功能
    参数:
    内校准
    4百万像素
    可选波长
    高强度长寿命LED
    1920*1920成像
    64位ZY处理器
    低机械噪声
    并行处理
    6物镜转轮
    技术规格

    Vertical Resolution
    垂直分辨率
    0.1nm
    0.1nm
    Turret
    转轮
    upto 6 objective turret (manual or automatic)
    6镜头转轮(自动或手动)
    Scan Range
    扫描范围
    Up to 150mm x 150mm
    最高达150mmx150mm
    Sample thickness
    试样厚度
    upto 100mm
    最高达100mm
    FOV
    视场
    upto 10mm
    最高达10mm
    Objectives
    物镜
    10x,50x
    10倍,50倍
    Z focussing range
    Z轴方向聚焦范围
    nm to 10mm
    0.1nm到10mm
    Scanning area
    扫描区域
    150x150mm
    150x150mm
    Tilt
    倾斜角
    +/- 7 degree
    +/-7度
    Rotation (theta)
    平台旋转范围
    360 Degree
    360度
    Pixel
    像素
    Standard 1024 x 1024
    标准1024x1024
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