日立高新分析超高分辨率肖特基热场发射扫描电子显微镜SU-70是一种新概念扫描电子显微镜。日立高新分析超高分辨率肖特基热场发射扫描电子显微镜SU-70采用了日立经过实地验证的 “semi-in-lens”超高分辨率技术以及肖特基热场发射电子枪技术。

除了具有超高分辨率（1.0 nm/15 kV，1.6 nm*/1 kV）的特点外，日立高新分析超高分辨率肖特基热场发射扫描电子显微镜SU-70还借助声名远播的SuperExB功能可观察减轻荷电图像，成分构成对比图像，超低加速电压图像*。肖特基场发射电子枪的探针电流为100nA，可进行各种各样的分析操作（X 射线能谱仪*, X射线波谱仪*,电子背散射衍射系统*等）（*选购件）。