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热式气体质量流量计

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详细介绍

Axetris热式气体质量流量计/控制器:

Axetris MFM/MFC 2000系列适用于OEM模块集成的结构极其紧凑的高性能气体质量流量计和控制器;
从用来测量单一气体的结构极其紧凑的气体质量流量计和控制器,到用来测量和控制多种气体高度集成的定制阀组,Axetriszuixin的MFM / MFC 2000系列产品都能满足这些需求。

技术优点:

  • 基于MEMS技术

  • 极其紧凑的尺寸

  • 高精度

  • 快速响应时间

  • 多种气体/多量程

  • 模块化

  • 的长期稳定性


主要应用:

  • 分析仪器

  • 气相色谱仪

  • 泄漏检测

  • 单一或者多种气体的计量和控制

  • 标定和质量控制

  • 薄膜工艺控制

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