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耐驰 热反射法薄膜导热系数测量仪 Nano TR

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详细介绍

热反射(Thermo-Reflectance)方法基于超高速激光闪射系统,可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数,如:热扩散系数、导热系数、蓄热系数和界面热阻。由于激光闪射时间仅为纳秒(ns)量级,甚至可达到皮秒(ps)量级,此系统可测量厚度低至10nm 的薄膜。同时,系统提供不同的测量模式,以适应不同的基片情况(透明/ 不透明)。

技术参数:


NanoTR

温度范围

RT

测量模式

RF/FF

样品尺寸

10*10mm … 20*20mm

薄膜厚度

RF:

金属:1 … 20μm

陶瓷:300nm … 5μm

聚合物:30nm … 2μm

FF> 1μm

基片厚度

< 1 mm

热扩散温升时间

10ns … 10μs

热扩散系数(mm2/s

0.01…1000mm2/s


操作系统

Windows 7


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