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等离子清洗仪

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仪器简介:
FischioneModel1020等离子清洗仪可以自动清除所有型号的电子显微镜样品座
和大多数材料样品表面的碳氢污染物,是场发射扫描和透射电镜制样不可或缺的
仪器.由高频震荡场与石英等离子腔组成的等离子系统产生出能量低于20电子伏
特的离子用于清洗样品表面,不会改变样品元素成份和表面结构特征.仪器的真
空系统由无油分子泵与隔膜泵组成,真空度可达10-6toor.此仪器还可以用于清
洗光阑等电子显微镜配件.
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