GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪

GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪，特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜（如Ti、Al、Au等），也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟，且每个蒸镀舟都带有挡板。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜，可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求，是一款镀膜效果理想且性价较高的实验设备。

主要特点

1、真空控制单元全部集合在一个控制盒内。

2、采用独立的蒸镀电流控制器，操作方便快捷。

3、真空腔体设有1个KF40旁抽阀（直接与前级机械泵相连，方便快速取放样品，提高效率）、1个CF150闸板阀（直接与

分子泵相连）、1个KF16法兰（安装电阻规）、5个CF35法兰（1个安装电离规，4个备用，便于安装其他设备）。

4、在腔体底部配有5个水冷电极，可支持4个蒸镀加热舟。

5、4个蒸镀加热舟上方配有独立的可移动挡板，有效地避免蒸发时相互污染。

6、样品台安装在腔体的顶部。

7、腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪，精度为10埃。

8、可使用循环水冷机。

技术参数

1、输入：单相AC220V，50/60Hz，最大功率≤3.2KW

2、蒸发输出：电压AC0-8V连续可调，最大蒸发电流200A

3、真空腔：Φ300mm（内径）×400mm，不锈钢，内壁经电抛光处理

4、腔门：Φ200mm

5、观察窗：Φ95mm，采用无氧铜密封圈密封

6、真空泵：高抽速涡轮分子泵，抽速600L/s

7、真空度：5.0×10^-6torr（泵开启40min后）

8、极限真空度：5.0×10^-7torr （加热温度为100℃-150℃）

9、漏率：5.0×10^-7Pa/s

10、样品台：Φ140mm

11、蒸发舟与样品台间距：260mm

12、冷却水需量：15L/min

产品规格

尺寸：650mm×1200mm×1600mm

重量：600kg