GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪

GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪专门为在基底上镀金属膜（如金、铂、铟、银等）而设计，最大放置样品尺寸直径为40mm，膜厚可达300?，特别适用于为SEM样品镀金而作为导电极。

主要特点

1、可以调节电流大小，可设置溅射时间。

2、已经过CE认证。

技术参数

1、输入电源：208V-240V 50Hz/60Hz

2、样品台：Φ60mm，高度可调节

3、石英腔体：Φ100mm×130mm

4、进气口：内部装有阀门，可以向腔体内通入各种气体

5、靶材：纯度为4N的金靶，Φ57mm×0.12mm

产品规格

尺寸：480mm×320mm×150mm

重量：20kg

可选配件

1、Au（Φ57mm×0.12mm，4N）

2、Pt（Φ57mm×0.12mm，4N）

3、Ag（Φ57mm×0.5mm,4N）