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Nanonex光刻机
- 品牌：美国NANONEX
- 型号： Lumina-200
- 产地：美国
- 供应商报价： 面议
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上海富格贸易有限公司
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企业性质
入驻年限第9年
营业执照
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- 详细介绍
- Lumina-200 多功能高精度光刻机
Lumina-200高分辨率光刻机加对准系统经过了大量的实时实地验证，质量可靠，性能优越稳定。Lumina系列是一款具有高性能，高可靠性，高性价比，兼具接触和近程光刻的高分辨率，高对准精度全功能光刻机和模板基板对准机。Lumina系列在电子，光电子，MEMS，生物芯片等诸多领域都有广泛应用。Lumina-200具有的用户界面，高精度的机械平台，高精度光学，紧凑的系统设计。
主要特点：
高光刻分辨率；高精度对准机械平台；zuixin高精度对准光学系统；精确的间距控制的计算机用户界面；紧凑的系统设计；高性价比设计；可附加背面对准功能应用：半导体器件；光电子器件；MEMS；高端封装；功率器件生物芯片基于超过12年、15代产品开发经验的自动化操作Nanonex经过大量实时实地验证，质量可靠，性能优越稳定
系统参数：主平台手动控制 X-Y-；马达控制 Z；
调节范围：X和Y：1英寸；：10度；Z：0.25英寸
模板加载能力5”标配模板；其他尺寸可提供基板加载能力4”标配基板；其他尺寸可提供
对准模式近程，软，硬接触对准光学分场光学；5X物镜，1到7X ZOOM；2轴独立手动X,Y,Z显微镜调节粗略和精细对焦；通过CCD相机成像曝光系统紫外：水银灯G或I线可选；紫外灯功率：500瓦均匀紫外曝光；马达带动紫外光源
