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高低温真空探针台

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详细介绍

真空探针台主体:

-主腔室尺寸:220(D)*300(h),ISO100(真空法兰)

-卡盘:直径80,小于10fA漏电流

真空度:5x10-3Torr(可升级扩展到-6torr)

多个NW端口:6个NW80端口, 8个NW25端口,1端口(正面)

窗口:120石英窗口,NW50暗盖

温度范围:80K-570K


显微镜&CCD相机:

-CCD变焦:~300X(最大)

-CCD相机:全高清2.1M像素,22寸LCD显示器

-微摆臂:自由摆臂,精密XY台行程50x50mm


真空探针座:

-PBC400

-xyz行程:40mm

-分辨率:1um


真空探针支架:

-支架:Triaxial VC_15

-漏电流:小于1fA


探针:

-M5BG:0.5x30mm 金或钨


防震台


PC控制系统




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