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氦镉及氮分子激光器

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详细介绍
氦镉及氮分子激光器

氦镉激光器
PLASMA公司是世界上的气体激光器生产商,其产品主要特点是高质量、长寿命、中等价格。
1. 标准设计,HCL系列


波长442nm
型号 功率(mW) 横模 偏振 光斑尺寸(mm) 发散角 (mrad)
HCL-50V 60 TEMOO 100:1 1.6 0.9
HCL-60V(I) 80 TEMOO 100:1 1.6 0.9
HCL-70VМ(I) 100 多模 1:1 2.0 2.5
HCL-100V 100 TEMOO 100:1 2.1 0.9
HCL-100V(I) 150 TEMOO 100:1 2.1 0.9
波长325nm
型号 功率(mW) 横模 偏振 光斑尺寸(mm) 发散角 (mrad)
HCL-30UM(I)P 30 多模 100:1 1.6 2.5
HCL-10U 10 TEMOO 100:1 1.5 0.9
HCL-30UM(I) 35 多模 1:1 1.6 2.5
HCL-100U(I) 30 TEMOO 100:1 1.7 0.9
波长442nm和325nm
型号 功率(mW) 横模 偏振 光斑尺寸(mm) 发散角 (mrad)
HCL-40 5/35 多模/TEMOO 100:1/100:1 1.4/1.4 0.9/0.9
HCL-40M 10/40 多模/TEMOO 100:1/100:1 1.5/1.5 2.5/0.9
HCL-40(I) 15/50 多模/TEMOO 100:1/100:1 1.5/1.5 2.0/0.9
HCL-100(I) 20/100 多模/TEMOO 100:1/100:1 2.0/2.0 2.0/0.9
注:带(I)的型号激光相干长度为30cm,不带(I)的型号相干长度为10cm
2. 紧凑型设计,HCCL系列


波长442nm
型号 功率(mW) 横模 偏振 光斑尺寸(mm) 发散角 (mrad)
HCCL-10V 10 TEMOO 100:1 1.5 1.3
HCCL-20VМ 20 多模 1:1 1.8 2.5
HCCL-25V 25 TEMOO 100:1 1.5 1.3
波长325nm
型号 功率(mW) 横模 偏振 光斑尺寸(mm) 发散角 (mrad)
HCCL-4UM 6 多模 1:1 1.8 2.5
HCCL-8UM(I) 12 多模 1:1 1.8 2.5
HCCL-15UM 15 多模 1:1 1.8 2.5
HCCL-30UM(I) 25 多模 1:1 1.8 2.5
注:带(I)的型号激光相干长度30cm,不带(I)的型号相干长度10cm。

氮分子激光器
氮分子激光器的发射带在UV波段,主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。
PLASMA 拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器,由于其独特的性能(波长337nm、脉冲宽度小于10ns、平均功率0.01-1W),被广泛应用于微电子领域如光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑,因此被用于加工亚微米量级的元件。此外,还被用于多种感光材料的高效曝光光源。








参数 NPL-3 LGI-505 LGI-511
波长, μm 0.337 0.337 0.337
脉冲能量, μJ 30 120 240
平均功率, mW 3 120 240
光束直径, mm 2 5 5
脉冲重复频率: 1-100 5-1000 1 -1000
脉冲宽度, ns 5±1 8 ±2 8 ±2
尺寸, mm 350x325x150 484x510x215 1140x525x345
重量, kg 10 35 105
电压, V 220 220 220
功率消耗, w 50 1200 1500
制冷方式 风冷 水冷 水冷
工作温度, OC 0...+40 0...+40 +10...+40
质保工作时间, h 500 1000 500
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