Park Systems原子力显微镜 NX-10

仪器简介:

测量结果的准确程度对科研工作者来说是至关重要的。为了更好的服务于科学界，Park推出了这款全世界Z准确的NX-10型原子力显微镜。该仪器具备高速的伺服响应能力，超高的扫描器线性度，极低的闭环检测器噪声水平，和最小的系统热漂移量。作为一款界面友好，操作简单的仪器，NX-10会成为新老用户的好伙伴。

技术参数：

扫描器

XY扫描器

柔性制导闭环控制单模块扫描器

扫描范围50μm*50μm（可选10μm*10μm ，100μm*100μm）

平面偏移度:<2nm（全量程扫描）

Z扫描器

柔性制导QL扫描器

扫描范围15μm（可选30μm）

定位检测噪声：0.03nm（带宽：1kHz）

共振频率：>9kHz

表面成像噪声：<0.03nm（标准值 0.02nm）

样品台

样品尺寸： 50mm*50mm*20mm

样品重量：最大500g

样品台移动范围：20mm*20mm

主要特点：

一、准确成像， 无交叉耦合现象

●业界领xian的XYZ轴线性度，样品和探针分别由独立的柔性制导扫描器控制移动

●zuidi的平面偏移度，全程水平扫描时平面偏移量不超过1纳米

●垂直扫描器全程伸缩时，线性度优于0.015%

●优化水平扫描器Ringing现象，科学的正向sine-scan算法

二、准确扫描，真正的非接触模式

●业界领xian的垂直扫描器，带宽超过9kHz，垂直伺服响应速度超过62mm/s

●非接触模式下最快的扫描速度

●极低的探针磨损，能够保证长时间的高质量扫描

●极低的样品损伤

三、准确测量，真正的样品形貌

●采用业界领xian的低噪声检测器测量样品形貌

●业界领xian的极小正反测量偏离量，小于0.15%

●采用优化的散热部件，极大地降低了系统热票移和迟滞现象

●功能强大的先进隔音罩，舱体内部主地控温

四、用户工作效率

●开放式的设计，方便更换探针和样品

●探针预定位装夹设计，简单便键的测量激光调节过程，具有ZG的自上主下

五、直视光路系统

●创新的“十秒进针”功能，探针可自动高速完成进针操作

●24位数字电控箱，三组内置锁存放大楼，具备Q-control和弹性常数校准准功能