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【Hitachi】日立扫描电子显微镜SU1510
- 品牌:日立
- 型号: SU1510
- 产地:亚洲 日本
- 供应商报价:面议
- 上海科学仪器有限公司 更新时间:2024-09-07 16:36:03
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销售范围售全国
入驻年限第9年
营业执照
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详细介绍
主机宽度仅为55cm,体型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。
主要特点:
1、仪器主体比过去减小20%,可以更加自由地选择安装场地。
2、标配低真空功能,可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。
3、样品台可载入最大直径153mm,高度为60mm(WD=15mm)的样品,并进行EDX分析。
4、强大的鼠标控制功能,可实现电镜的所有操作。
5、分子泵真空系统,洁净无污染。
技术参数:
二次电子分辨率
3.0nm(高真空,30kV)
背散射电子分辨率
4.0nm(低真空:60Pa,30kV)
倍率
5 ~ 300,000倍
加速电压
0.3~30 kV
样品台
X 0~80mm
Y 0~40mm
Z 5~50mm
T -20~80mm
R360°
样平台控制
手动(可选:2轴马达)
最大载入样品尺寸
直径:153mm
最大观察范围
直径:126mm(XYR并用)
最大样品高度
60mm (WD=15mm)
低真空范围
6-270Pa(从菜单设定)
灯丝
预对中钨灯丝
物镜光阑
4孔可变光阑
枪偏压
固定比例偏压、手动偏压、自动4偏压
检测器
二次电子检测器,高灵敏度半导体背散射电子检测器
EDX分析位置
WD=15mm,TOA=35°
真空系统
分子泵1台,机械泵1台
安全措施
停电,漏电,自动保护