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反射式膜厚测量仪
- 品牌：日本HalfMoon
- 型号：
- 产地：日本
- 供应商报价： 面议
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上海瞬渺光电技术有限公司
更新时间：2022-01-12 15:50:35 -
企业性质
入驻年限第10年
营业执照
- 同类产品半导体研发测试(9件)
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- 详细介绍
产品特点：
?非接触式、不破坏样品的光干涉式膜厚计。
?高精度、高再现性测量紫外到近红外波长反射率光谱，分析多层薄膜厚度、光学常数（n：折射率，k消光系数）。
?宽阔的波长测量范围。（190nm-1100nm）
?薄膜到厚膜的膜厚测量范围。（1nm~250μm）
?对应显微镜下的微距测量口径。
产品规格：
标准型
厚膜专用型
膜存测量范围 1nm~40μm
0.8μm~250μm
波长测量范围
190~1100nm
750~850nm
感光元件 PDA512ch（电子制冷）
CCD512ch（电子制冷）
PDA512ch（电子制冷）
光源规格 D2（紫外线）、12（可见光）、D2+12（紫外-可见光）
12（可见光）
电源规格 AC100V±10V750VA（自动样品台规格）
尺寸 4810（H）×770（D）×714（W）mm（自动样品台规格之主体部分）
重量 约96kg（自动样品台规格之主体部分）
应用范围：
FPD
-LCD、TFT、OLED（有机EL）
半导体、复合半导体
-矽半导体、半导体镭射、强诱电、介电常数材料
资料储存
-DVD、磁头薄膜、磁性材料
光学材料
-滤光片、抗反射膜
平面显示器
-液晶显示器、膜膜电晶体、OLED
薄膜
-AR膜
其他
-建筑用材料
测量范围：
玻璃上的二氧化钛膜厚、膜质分析
